产品详情
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汉钟精机PS系列干式螺旋91快色在线观看浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子，在转子间维持微小的间隙，使得91快色在线观看浦运转时腔体内无需润滑，因而无油气回漏污染的问题。透过转子线形良好的密封效果，压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式91快色在线观看浦由于排气路径短，粉尘移除能力较其他型式的91快色在线观看浦强，加上转子表面披覆材质的镀膜，因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。 泵浦温度控制精准
汉钟精机PS系列干式螺旋91快色在线观看浦，承袭上一代91快色在线观看浦优良的转子设计，同时改善壳体的冷却方式，采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度，能够更精准地控制泵浦内部温度，减少沉积物的产生，增加91快色在线观看浦的寿命。 密封马达性高
PS系列91快色在线观看浦亦采用设计的水冷罐装密封马达，除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外，也可避免制程气体外漏的风险。 微电脑控制保护周全
PS系列91快色在线观看浦亦可配备微电脑控制器，可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低，提供91快色在线观看浦完整的性保护，十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业。
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